中科芯微智能装备（沈阳）有限公司是由总部位于上海的素珀电子科技（上海）有限公司独资成立的智能机器人生产企业，公司基地坐落于中国七大区域中心——沈阳。依托沈阳的区域中心优势和高校人才优势，中科芯微在成立伊始，就立志发展成为以未来机器人智能发展为目标，以科技引领为方针的一家知识型和技术型高新技术企业。公司倡导以人为本，以科技为引领，提倡积极向上，公平公正的竞争环境。自成立以来，中科芯微在竞争中不断发展壮大，现在已经逐渐成长为行业内具有自主知识产权和自主研发能力的核心竞争力企业。中科芯微目前在重点前沿领域积极探索，在洁净机械手臂的运动学规划及动力学理论等方面取得变革性、颠覆性突破。公司主要产品包括了半导体，太阳能，LED等领域的大气、真空机械手以及EFEM，SORTER，真空传输平台等半导体设备。目前公司开发出的洁净机械手臂和EFEM，SORTER已经在国内知名的设备制造商进行了验证，井获得批量订单。