上海芯源微企业发展有限公司于2021年在上海临港新片区成立，总投资64人、年产值 15亿，亿元，占地3万平米，配置可容纳800人的研发办公厂区，国际一流水平的研发实验室，主要开展高工艺技术节点涂胶显影设备、化学清洗设备以及其他新产品、新部件、新平台的研发制造。