沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中国科学院沈阳自动化研究所发起创立的国家高新技术企业，专业从事半导体专用设备的研发、生产和销售，公司主营产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（去胶机、湿法刻蚀机、清洗机）。2019年，芯源微在上海证券交易所科创板上市，成为半导体光刻设备企业第一股、辽宁省科创板第一股，综合实力位居中国半导体设备行业五强。